Φακός F-theta 10,6um / Φακοί F-theta με 2 στοιχεία

Ένας τυπικός φακός εστιάζει τη δέσμη λέιζερ σε μια σφαιρική πεδιάδα σε αντίθεση με ένα ιδανικό επίπεδο ή επίπεδο πεδίο.Η χρήση φακών ƒ-theta παρέχει μια επίπεδη επιφάνεια εστίασης και σχεδόν σταθερό μέγεθος σημείου σε ολόκληρο το επίπεδο εικόνας XY ή το πεδίο σάρωσης.Η θέση του σημείου στο επίπεδο της εικόνας είναι ευθέως ανάλογη με τη γωνία σάρωσης.Οι τηλεκεντρικοί φακοί ƒ-θήτα εστιάζουν τη δέσμη λέιζερ ώστε να είναι σχεδόν κάθετη (εντός 1 μοίρας) στην επιφάνεια εργασίας σε όλο το πεδίο σάρωσης.Αυτό διασφαλίζει ότι το σημείο είναι στρογγυλό ακόμη και στις γωνίες του πεδίου σάρωσης και εάν οι οπές ή τα κανάλια είναι κατεργασμένα, είναι κάθετα στην επιφάνεια εργασίας.

Οι διορθωμένοι έγχρωμοι φακοί ƒ-theta έχουν σχεδιαστεί για να φιλοξενούν πολλαπλά μήκη κύματος.Κανονικά κάθε μήκος κύματος θα εστιαζόταν σε διαφορετικό σημείο στην επιφάνεια εργασίας.Σε έναν έγχρωμο διορθωμένο φακό το εστιακό σημείο για κάθε μήκος κύματος συμπίπτει.Αυτό επιτυγχάνεται με τον προγραμματισμό ενός ιδανικού συνδυασμού διαφορετικών τύπων γυαλιού για τα διάφορα στοιχεία φακού του φακού.Οι διορθωμένοι έγχρωμοι φακοί ƒ-theta χρησιμοποιούνται κυρίως για την ταυτόχρονη προβολή της επιφάνειας εργασίας μέσω του φακού σάρωσης με κάμερα κατά την επεξεργασία με λέιζερ.Μια άλλη κοινή εφαρμογή για φακούς σάρωσης διορθωμένου χρώματος είναι για χρήση σε ομοεστιακά μικροσκόπια σάρωσης που απαιτούν ένα ευρύ φάσμα ορατών μηκών κύματος.

Παρέχουμε κυρίως 3 σειρές φακών f-theta, STY, STS και STJ.

Στους παρακάτω πίνακες, οι συντομογραφίες είναι οι εξής: FL σημαίνει ενεργή εστιακή απόσταση.EP σημαίνει μέγ.διάμετρος δέσμης εισόδου?SAR σημαίνει περιοχή σάρωσης, AS σημαίνει διακοπή διαφράγματος.WD σημαίνει απόσταση εργασίας.OD σημαίνει μέγ.εξωτερική διάμετρος;MT σημαίνει νήμα στήριξης.fs σημαίνει τηγμένο πυρίτιο, SA σημαίνει μέγ.Πλήρης διαγώνια γωνία σάρωσης.L2 (a1) σημαίνει συνιστώμενο διαχωρισμό κατόπτρων.a2 σημαίνει 2ο κάτοπτρο στη φλάντζα.L1 σημαίνει την απόσταση 2ος καθρέφτης και φακός σάρωσης.SL σημαίνει μήκος σάρωσης.Μήκος σημαίνει το συνολικό μήκος του φακού σάρωσης.FSD σημαίνει εστιασμένη διάμετρο σημείου.

1. Φακοί σάρωσης ενός στοιχείου (Φακοί F-theta)

1) Φακοί F-theta σειράς STSL

Φακοί σαρωτή STSL ειδικά σχεδιασμένοι και βελτιστοποιημένοι για χρήση σε συστήματα γαλβοσαρωτών 2 αξόνων λέιζερ CO2 με διάμετρο πλήρους δέσμης έως 15,0 mm.Τα σετ καθρέφτη που είναι κατάλληλα για χρήση με διάμετρο δοκών έως 15 mm απαιτούν αύξηση του διαχωρισμού των κατόπτρων σε σύγκριση με τους μικρότερους καθρέφτες.Αυτές οι τροποποιημένες οπτικές συνθήκες καλύπτονται από τη σειρά STSL.Αυτοί οι φακοί ενός στοιχείου έχουν σχεδιαστεί για να αντιπροσωπεύουν τον καλύτερο δυνατό συμβιβασμό για εκτροπές εντός και εκτός άξονα, επιπεδότητα πεδίου και χαρακτηριστικά F-θήτα, που μπορούν να αποκτηθούν με τη χρήση σχεδίων σφαιρικής επιφάνειας ενός στοιχείου διαμέτρου (τυποποιημένης) 48 mm.Τα υλικά του φακού είναι ZnSe.

• Οι φακοί είναι μηνίσκου.μία κοίλη και μία κυρτή επιφάνεια.Το κοίλο βλέπει πάντα την προσπίπτουσα δέσμη.
• Οι θέσεις των κατόπτρων είναι οι ίδιες για κάθε φακό STSL, επομένως οποιοσδήποτε φακός μπορεί να αντικαταστήσει οποιονδήποτε άλλο στο κελί και να τοποθετηθεί σωστά.Τα μεγέθη πεδίου που δίνονται, υποθέτουν γωνία οπτικού πεδίου +/-20 μοίρες.
• Οι εστιασμένες διάμετροι κηλίδων προϋποθέτουν πλήρη δέσμη διαμέτρου 15 mm (περίπου 12 mm 1/e2) και λειτουργία TEM00 (M2 = 1).Ο «μέσος όρος» είναι ο μέσος όρος 25 θέσεων πεδίου σε ένα τεταρτημόριο.
• Για όλους τους φακούς STSL, η διάμετρος είναι 48,0 +0/-0,1 mm και το πάχος της άκρης είναι 3,0 +/-0,1 mm.

Για τους παραπάνω φακούς, μπορούμε να παρέχουμε μια βάση ως επιλογή ως εξής:

2) Φακοί F-theta Mounted Series STXH

Πληροφορίες παραγγελίας: STXH-10.6-SAR-EFL-EP-LD, όπου το SAR είναι η περιοχή σάρωσης (mmxmm), το EFL είναι η εστιακή απόσταση (mm), το EP είναι μέγιστο.κόρη εισόδου (mm) όπως 14 ή 20 mm και καμία ένδειξη είναι 14 mm, LD είναι διάμετρος φακού (mm) όπως 38, 48 ή 65 mm και καμία ένδειξη είναι 48 mm.

3) Φακοί STY Series 10,6um Mounted F-theta

4) Φακοί STH Series 10.6um Mounted F-theta

2. Τοποθετημένοι φακοί F-theta 2 στοιχείων

1) Φακοί F-theta 2 στοιχείων της σειράς STU2

Αυτοί οι φακοί διπλής σάρωσης (STU2) και τριπλής σάρωσης (STU3) προορίζονται να λειτουργούν με την ίδια διαμόρφωση κατόπτρων σάρωσης και μεγέθη δέσμης με τους φακούς μονού στοιχείου STSL, αλλά προσφέρονται σε μικρότερες εστιακές αποστάσεις όπου είναι δυνατή η καλύτερη απόδοση.Τα διπλά έχουν εστιακές αποστάσεις από 75 έως 300 mm.Πάνω από 300 mm τα οφέλη από τη χρήση διπλού δεν είναι μεγάλα.Τα τρίδυμα προσφέρονται σε δύο εστιακές αποστάσεις, 75 και 100 mm.Αυτά δίνουν περιορισμένη απόδοση περίθλασης και ακόμη περαιτέρω βελτίωση σε σχέση με το αντίστοιχο διπλό.

Όλοι οι φακοί είναι κατασκευασμένοι από λέιζερ ποιότητας ZnSe.Καθένας από τους φακούς διατίθεται σε μαύρη βάση από ανοδιωμένο αλουμίνιο και μπορεί επίσης να τοποθετηθεί προαιρετικά με παράθυρο προστασίας ZnSe.

Προδιαγραφές:

• Υλικό: Όλα τα στοιχεία και το παράθυρο προστασίας από Laser Grade ZnSe.
• Λεπτομέρειες τοποθέτησης: Δείτε Εικόνα 10.51.
• Διάμετρος δοκού: Έως 15 mm (12 mm 1/e2)
• Πεδίο οπτικής σάρωσης: +/-20° σε X και Y.
• Εστιακή απόσταση: Εντός 1%.
• Απορρόφηση: < 0,25% ανά στοιχείο.
• Μετάδοση: > 99,6% ανά στοιχείο με επίστρωση AR/AR για 10,6 mm.
• Όριο ζημιάς: CW 3000W/mm στα 10,6mm.

3. Τοποθετημένοι φακοί F-theta τριών στοιχείων

1) Φακοί F-theta 3 στοιχείων σειράς SL3

2) Φακοί σάρωσης σειράς STU3

• εστιακές αποστάσεις 75 και 100 mm αντίστοιχα
• ο φακός εστιακού μήκους 75 mm είναι επίσης σχεδόν τηλεκεντρικός (βλ. παρακάτω) με την εστιασμένη δέσμη μικρότερη από 5° στην κανονική περίθλαση περιορισμένη απόδοση σε ολόκληρο το επίπεδο εικόνας
• ουσιαστικά μηδενικό σφάλμα F-theta
• μπορεί να τοποθετηθεί με προστατευτικό παράθυρο

Προσαρμοσμένα σχέδια:

Τα σχέδια που αναφέρονται παρακάτω είναι για ένα συγκεκριμένο σύνολο συνθηκών που μπορεί να μην ταιριάζουν στις απαιτήσεις του καθενός.Εάν χρειάζεστε έναν φακό για ένα άλλο σύνολο συνθηκών, όπως μεγαλύτερη δέσμη, διαφορετικό μέγεθος πεδίου ή εστιακή απόσταση ή τηλεκεντρικό σχέδιο, τότε επικοινωνήστε μαζί μας.

Σύγκριση μεγέθους εστιασμένης κηλίδας μεταξύ STSL, STU2 και STU3

Διάσταση STU2 και STU3

4. Τηλεκεντρικοί φακοί F-theta σειράς STG

Προσαρμοσμένη σχεδίαση και - διατίθεται κατόπιν αιτήματος.